近日，由辽宁科瑞色谱技术有限公司为安徽中科昊海气体科技有限公司（中科富海集团旗下子公司）阜阳三期电子特气项目提供的全套高端气体分析系统，已顺利完成交付与现场安装调试，即将正式投入运行。该项目是科瑞色谱在超高纯电子特气分析领域精心打造的又一个“交钥匙”标杆工程，标志着国产精密分析仪器在半导体产业链关键材料——电子特气的质量控制与安全生产监测方面，实现了重要突破并获得了行业高端客户的深度认可。
在半导体、集成电路等高端制造领域，电子特气的纯度直接决定最终产品的性能与良率。其中，7N级（99.99999%） 的超高纯度气体分析，对仪器的检出限、稳定性、重复性和抗干扰能力提出了近乎苛刻的要求。科瑞色谱凭借深厚的技术积累与对客户工艺的深刻理解，为该项目量身定制了包括在线分析系统与多套离线分析仪器在内的完整解决方案。
方案核心包括一套集成了正压防爆分析小屋的离线分析系统。该小屋严格按照爆炸危险环境2区设计，采用304不锈钢材质，防爆等级达到 Exd e ib mb nC pc IIc T4 Ge，内部电气设备防爆级别不低于 Exd IIC T4 Gb，防护等级最高达 IP65，为分析仪器在复杂工况下的长期、稳定、安全运行提供了坚实保障。小屋内集中部署了多台GS2010系列气相色谱仪，结合定制化的预处理单元，构建了一套覆盖罐区、装置区、丁类车间的完整离线分析网络。
该系统能够精准分析超纯氨（7N）、电子级二氧化碳（6N）、电子级一氧化碳（5N）、食品级二氧化碳以及多种特种混合气中的痕量杂质，关键组分检出限低至 ppb（十亿分之一）级别。其中，超纯氨分析可实现氧氩分离及C1-C3烃类物质的独立检测，全面满足电子特气行业严苛的质量控制标准。整套系统旨在实现对生产关键工艺节点的实时在线监测、安全预警与产品质量的精准把控。
为确保项目顺利实施，科瑞色谱技术团队与客户进行了多轮深入的技术交流，以严谨的方案确保了仪器性能完全满足项目需求。项目实施过程中，技术团队高效完成了系统安装与集成调试，设备运行稳定，关键性能指标均达到或超过设计预期。该系统的投运，将有力助力客户实现生产过程的智能化监控、本质安全提升、工艺优化与质量全程可追溯，为打造高可靠性的电子特气供应链提供坚实的数据支撑。
本次阜阳项目的成功交付，不仅是科瑞色谱在电子特气这一战略新兴市场取得的重大进展，也是国产高端分析仪器在服务国家核心产业链关键环节上的有力证明。它进一步彰显了辽宁科瑞色谱从专业设备制造商向高端分析解决方案服务商转型的综合实力。
未来，科瑞色谱将继续深耕半导体、新材料、新能源等战略产业，围绕超高纯材料分析、过程安全监控等核心需求，持续创新，以更先进、更可靠的分析技术整体解决方案，护航中国高端制造业的高质量发展。
