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电子特气纯度分析解决方案 - 硅烷/氩气/氨气等电子特气中ppb级杂质检测
2026/01/05 13:48
阅读：54
应用领域
半导体
检测样品
化学成分与纯度检测
检测项目
硅烷 二氯二氢硅 三氯氢硅 四氯化硅 氩
参考标准
/
方案详情
科瑞色谱提供针对电子特气行业的完整气相色谱分析解决方案，涵盖硅烷、氩气、氨气等多种高纯气体的ppb级杂质检测。方案依托高灵敏检测器（如PDHID、EPD等）和专业预处理系统，确保气体纯度满足半导体制造要求，为芯片生产提供可靠的质量保障。
产品配置单
分析仪器
科瑞色谱GS2010-III型气相色谱仪
GS2010-III型气相色谱仪
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